В марте 2025 года АО «НПП «ЭСТО» разработали транспортный перегрузочный модуль, созданный в рамках совместной с РФЯЦ-ВНИИЭФ «НИИИС им. Ю.Е. Седакова» разработки установки жидкостно-химической обработки полупроводниковых пластин
Проект по созданию модуля перегрузки для установки жидкостной химической обработки стартовал в АО «НПП «ЭСТО» в 2023 году
Данное оборудование характеризуется конструктивной сложностью и высокими требованиями к точности
Специалисты «ЭСТО» выполнили полный цикл работ: от проектирования и выпуска программного обеспечения до изготовления опытного образца
Транспортный перегрузочный модуль линии жидкостного травления осуществляет автоматизированное перемещение полупроводниковых пластин из двух позиций загрузки в одну буферную зону для дальнейшей их перегрузки в процессные ванны
Для модуля перегрузки характерны следующие особенности:
◾️Наличие высоких требований чистоты воздуха внутри модуля;
◾️Исполнительные механизмы с пневмоприводом для повышения плавности хода и простоты обслуживания при эксплуатации;
◾️Механизм привода робота выполнен с применением серводвигателя для обеспечения высокой точности позиционирования робота.
Модуль стыкуется с головным и технологическими модулями и формирует полноценную установку технохимии
Данный транспортный перегрузочный модуль возможно адаптировать для работы с пластинами 100, 150 и 200 мм
Разработка установки жидкостно-химической обработки имеет большую значимость для отечественного рынка микроэлектроники, поскольку в России подобное оборудование не производится, а в условиях санкционных ограничений привозить такое оборудование крайне затруднительно
>>Click here to continue<<